酸洗时金属时可能会有腐蚀金属表面的情况发生,可以使用酸性金属清洗剂来代替酸洗溶液,这样一来,既保证了清洗剂效果,对金属材质也不会产生损伤。也可以在酸洗时在酸洗溶液中加入酸性金属清洗剂,这种清洗剂会抑制酸洗溶液对金属材料的腐蚀,抑制酸洗溶液挥发,避免酸雾的形成,可保护人体健康安全。
化学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有HF,,H2SO4,H2O2,HCL等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,后还有DI清洗。IPA是,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。
硅片刻蚀台
苏州晶淼作为国内的湿法制程设备制造企业之一,一直全心服务于微电子集成电路、半导体材料、半导体照明LED、光伏太阳能、LCD-TFT液晶等行业领域。通过多年清洗设备的研发生产经验及周到快捷的售后服务赢得了越来越多的客户信赖。
多年来,苏州晶淼一直专注于为半导体材料、微电子集电路、LED、有机发光二级管、三极管、电力电子器件、分立器件、MEMS传感器、光伏太阳能、等行业域提供完备工序的湿法清洗、腐蚀制程设备。
清洗设备主要由耐腐蚀机架、 酸槽、 水槽、 干燥槽、 控制单元、排风单元以及气体和液体管路单元等几大部分构成。其中酸槽和管路单元是清洗设备的主要组成部分。 按照材料的差异,槽体可分为用不锈钢材质的生产的槽、 用NPP 材质生产的抗腐蚀的槽、 用PVDF材质生产的槽、 用PTFE材质生产的槽、用石英材质生产的槽等, 按照功能的差异槽体又可分为酸碱刻蚀槽、 溢流清洗槽、 快速排水槽和使晶圆快速干燥的干燥槽等,根据清洗工艺要求的不同, 还可以增加腐蚀液的超声及兆声清洗、 腐蚀液加热或制冷、搅拌、 循环及去离子水加热等清洗功能
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